六氟化硫斷路器具有斷口電壓高、開斷能力強、允許連續開斷的次數多、噪聲低和無火花危險等特點，而且斷路器尺寸小、重量輕、容量大，不需要維修或少維修。
這使傳統的油斷路器和壓縮空氣斷路器無法與其相比，因此，在超高壓領域中六氟化硫斷路器幾乎全部取代了其他類型斷路器。但是在認識六氟化硫斷路器本身優點的同時，還應清醒認識到影響六氟化硫設備安全運行的因素，由于有一些影響是隱性的、不可預見的，則更應引起足夠的重視。
六氟化硫氣體壓力低
首先檢查六氟化硫氣體壓力表壓力，并將其換算到當時環境溫度下，如果低于報警壓力值，則為六氟化硫氣體泄漏，否則可排除氣體泄漏的可能。在以往的工作中總結出了一些情況可以導致六氟化硫氣體壓力低。
六氟化硫氣體泄漏
檢查zui近氣體填充后的記錄，如氣體密度以大于0.01兆帕/年的速度下降，必須用檢漏儀檢測，更換密封件和其他已損壞的部件。具體方法：如泄漏很快，可充氣至額定壓力，查看壓力表，同時用檢漏儀查找管路接頭漏點;另外可以用包扎法逐相逐個密封部位查找漏點。
主要泄漏部位及處理方法：
(1)焊縫。處理方法為補焊。
(2)支持瓷套與法蘭連接處、法蘭密封面等。處理方法為更換法蘭面密封或瓷套。
(3)滅弧室頂蓋、提升桿密封、三連箱蓋板處。處理方法為處理密封面、更換密封圈。
(4)管路接頭、密度繼電器接口、壓力表接頭。處理方法為處理接頭密封面更換密封圈，或暫時將壓力表拆下。
(5)如發現六氟化硫氣體泄漏應檢測微水含量。
二次回路或密度繼電器故障
依次檢查密度繼電器信號接點及二次回路相應接點，部分廠家生產的密度繼電器在密封上不好，出現受潮或進水現象，導致內部節點短路。處理方法可改變密度繼電器安裝位置，對密度繼電器接頭部位涂密封膠。
電氣回路常見的故障
電氣回路故障可能有以下五個方面原因。
(1)若合閘操作前紅、綠指示燈均不亮，說明控制回路斷線或無控制電源(如控制保險斷)。可檢查控制電源和整個控制回路上的各個元件是否正常，如操作電壓是否正常，熔絲是否熔斷，防跳繼電器是否正常，斷路器輔助觸點是否良好，有無氣壓降低閉鎖等。
(2)當操作合閘后紅燈不亮，綠燈閃光且事故喇叭響時，說明操作手柄位置和斷路器的位置不對應，斷路器未合上。其常見原因有合閘回路熔斷器的熔絲熔斷或接觸不良;合閘接觸器未動作;合閘線圈發生故障。
(3)當操作斷路器合閘后，綠燈熄滅，紅燈亮，但瞬間紅燈又滅綠燈閃光，事故喇叭響，說明斷路器合上后又自動跳閘。其原因可能是斷路器合在故障線路上造成保護動作跳閘或斷路器機械故障不能使斷路器保持在合閘狀態。
(4)若操作合閘后綠燈熄滅，紅燈不亮，但電流表計已有指示，說明斷路器已經合上。可能的原因是斷路器輔助觸點或控制開關觸點接觸不良，或跳閘線圈斷開使回路不通，或控制回路熔絲熔斷，或指示燈泡損壞。
(5)分閘回路直流電源兩點接地。
六氟化硫氣體含水量超標
六氟化硫斷路器內水分嚴重超標將危害絕緣，影響滅弧，并產生有毒物質。斷路器含水量較高時，很容易在絕緣材料表面結露，造成絕緣下降，嚴重時發生閃絡擊穿。含水量較高的氣體在電弧作用下被分解，六氟化硫氣體與水分產生多種水解反應，產生三氧化鎢、氟化銅等粉末狀絕緣物，其中氟化銅有強烈的吸濕性，附在絕緣表面，使沿面閃絡電壓下降，氫氟酸、亞硫酸等具有強腐蝕性，對固體有機材料和金屬有腐蝕作用，縮短了設備壽命。水分超標有以下幾方面。
(1)新氣水分不合格。處理方法為對于放置半年以上的氣體，充氣前檢測新氣含水量應不超過64.88毫升/升。
(2)充氣時帶入水分。原因是由于工藝不當，如充氣時氣瓶未倒立，管路、接口未干燥，裝配時暴露在空氣中時間過長等。
(3)絕緣件帶入的水分。原因是在運行中，有機絕緣材料內部所含的水分慢慢釋放出來導致含水量增加。
(4)吸附劑帶入的水分。原因是吸附劑活化處理時間過短，安裝時暴露在空氣的時間過長。
(5)透過密封件滲入的水份。原因是大氣中水蒸氣分壓為設備內部的幾十倍甚至幾百倍，在壓差作用下水分滲入。
(6)設備滲漏。原因是充氣接口、管路接頭、鑄鋁件砂孔等處空氣中的水蒸氣滲透到設備內部，造成微水升高。
當六氟化硫斷路器投入運行一定時間后，根據有關標準、規程、制造廠家的規定和運行條件以及該六氟化硫斷路器的運行狀況，決定其臨時性檢修、小修及大修的項目和內容。目前，六氟化硫斷路器本體的大修，受技術水平和檢修設備及現場條件限制，一般委托制造廠家或專業的檢修單位實施。條件具備的用戶，也可以在制造廠家專業技術人員的指導下進行大修工作。
