真空斷路器目前較易出現的問題有很多種，比如真空斷路器滅弧室漏氣，機構卡澀，輔助斷路 器轉換不正確引起跳閘線圈燒壞，斷路器跳合閘不正確，斷路器的彈跳及行程不合格，斷路器本體 絕緣子瓷瓶因與拉桿距離太近被打壞等。所以為了盡量減少問題的發生，這就需要技術人員對設備的檢修維修。對于定期檢修的高壓真空斷路器，共有以下幾方面內容：
需半年檢修一次：
1、對高壓真空斷路器的傳動機構的外觀進行檢查、清灰，上潤滑油脂；擰緊松動的緊固件；對傳動機構的檢查是保證斷路器可靠分合的保證；對斷路器清灰，使其清潔，保證安全運行；涂潤滑油脂，使機構靈活自如，減少磨擦、磨損。
2、檢查合閘線圈鐵心是否卡滯，合閘功是否滿足要求，掣子過死點情況(死點過大會造成分閘困難，過小則易脫落)。
3、銷子情況：片狀銷子是否磨損過薄；柱狀銷子是否彎曲或有脫落可能。
4、緩沖器：油壓式緩沖器是否滲漏油、油量少或失去作用；彈簧緩沖器是否起作用。
5、跳閘鐵芯活動是否自如。
6、絕緣構件是否有可視缺陷，如有缺陷，應使用2500V搖表測其絕緣情況確定是否更換并作記錄。
7、用雙臂電橋測量合閘后開關的直流電阻(應不大于40µΩ)，并作記錄，如大于µΩ,應更換滅弧室。
8、檢查滅弧室有無破裂、內部零件有無老化。9)檢查二次線路并測量二次線路的絕緣電阻。
需1年檢修一次：
1、合閘時間：直流電磁不大于0.15s，彈簧儲能不大于0.15s；分閘時間不大于0.06s；三項分閘的同期性≤2ms；
2、合閘觸頭彈跳時間≤5ms；
3、平均合閘速度0.55m/s±0.15m/s；
4、平均分閘速度(接觸油緩沖器前)1m/s±0.3m/sc
測量額定絕緣水平，一般只測lmin工頻耐壓42kV，無閃絡；無條件可以不做真空度測量，但必須進行相間、斷口間工頻耐壓試驗，要求42kV或更高(無工頻條件可用直流代替)。使用5～10年的真空斷路器需由生產廠家凋整觸頭開距、接觸行程、油緩沖器緩沖行程、相間中心距、三項分閘同期性、合閘觸頭接觸壓力、彈跳時間、動靜觸頭累計允許磨損厚度等。
按檢修計劃進行檢修，并將內容記錄建檔，為真空斷路器的維護和正常運行提供了保障。
